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MKPS10MPa绝压芯片

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商品说明

产品概述

MLKL-SOI系列高温传感器芯片是使用耐高温SOI材料,基于单晶硅压阻效应,采用特种耐高温加工工艺制作的硅压阻式绝对压力传感器芯片,具有高精度、抗玷污、无PN结漏电、长期稳定性好、工作温度高、温度漂移小等特点。产品可工作于-60℃~220℃的温度范围。该芯片依靠公司自主研发技术,能够满足高温环境下,高精度、高可靠的压力测量需求,系列包括10MPa、20MPa、40MPa的绝压压力量程。

应用

航空航天

工业过程控制

医疗器械

气象监控

发动机控制

产品特点

绝压压阻式MEMS传感器芯片 

大厚度芯片,隔绝应力

2.70 mmL×2.70 mmW)×1.90mmH

电压源供电

/惠斯通电桥,毫伏级输出

额定压力量程:10MPa绝压

良好的长期稳定性和耐高温工作能力

主要参数

参数

最小值

典型值

最大值

单位

满量程输出

80

100

120

mv@5V

电桥电阻

0.8

1.0

1.2

零点输出

-10

-

10

mV

电桥电阻温度系数

0.1

0.12

0.15

%/K

满量程温漂系数

-0.15

-0.16

-0.17

%F.S.S./K

迟滞

-

<0.05

-

±%F.S.S.

长期稳定性

-

<0.2

-

±%F.S.S./year

线性误差

-

<0.1

-

±%F.S.S.

工作温度

-60

-

220

:性能指标供参考,以实际订单为准。


0512-62761152
1315476659@qq.com
官方微信
苏州工业园区东富路58号三埃国际科技园B栋
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